全自動雷射晶圓雕刻機
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全自動雷射晶圓雕刻機

該機型具備全自動化操作功能,能夠迅速而準確地進行雷射雕刻加工,用於在晶圓上創建微細的結構和圖案。這些結構和圖案對於製造半導體元件、光學元件和微電子設備等領域至關重要。全自動雷射晶圓雕刻機擁有高精度的定位系統和先進的控制技術,能夠實現高速、精確和重複性的加工,提高生產效率和產品品質。這種機型在半導體工業、光電行業和微細加工領域得到廣泛應用,成為製造微細結構的關鍵設備之一。

 

  • 全自動化功能 8“ & 12” 晶圓雕刻專用機種,可配合生產線,減少操作人力並增加產能優勢。
  • 自動化上、下料系統(Load/Unload System)。
  • 自動化晶粒視覺影像定位、補正功能。
  • 可雙向微雕晶粒的不同平面。
  • 提供英文字母、阿拉伯數字之序號雕刻。
  • 提供圖案及二維條碼(DataMatrix)雕刻功能。
  • 雷射點之形成是以微小之雷射光點(<20um)高速劃圓所形成, 因此點之大小可任意調整。
  • 圓點之雕刻方式使得粉塵產生最少,深度可控制,字元可極小卻又清晰可視。