隱形切割加工
隱形切割技術(Stealth Dicing)是一種在晶圓內部應用雷射切割的方法。它使用高能量雷射光束在晶圓內部形成變質層,然後通過擴展膠膜等方法將晶圓分割成晶片。這種非接觸式、高精度的切割方法可以提高半導體元件的品質和可靠性。此外,隨著半導體行業對3D積層技術的需求增加,隱形雷射晶圓切割技術也在持續發展中。