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矽晶圓加工應用

▲上圖為矽晶圓精密鑽孔

各式半導體、微機電，晶圓之微流道、盲孔、微鑽孔、開槽、及異形切割.晶圓縮小尺寸切割、尺寸變更(Ex. 12”->6”)。